百級潔凈室潔凈度要求
百級潔凈室潔凈度要**把從污染源散發出來的塵、菌污染物在室內擴散作為前提,用經過高效過濾器處理的潔凈空氣將污染物沖淡稀釋,從而保持室內所需的空氣潔凈度等級。
百級潔凈室潔凈度要求系指空氣環境中空氣所含塵埃量多少的程度。百級潔凈室潔凈度要求一般的情況下,是指單位體積的空氣中所含大于等于某一粒徑粒子的數量。百級潔凈室含塵量高則潔凈度低,含塵量低則潔凈度高。
百級潔凈室潔凈度等級用≥0.5μm粒子的制濃度來命名。例如,≥0.5μm粒子的允許濃度為100pc/ft3(約3520pc/m3)的潔凈室,其潔凈濃度稱為100級。我國1984年的《潔凈廠房設計規范》還沿用了英語制等級名稱—100級、1000級、1萬級、10萬級,目前工程中還在應用這種名稱。上述4個等級與GB50072-2001規范中的5、6、7、8級相接近。潔凈室的潔凈度等級值越小,級別越高。同一等級的潔凈室,根據工藝要求可對其中1~2種粒徑的粒子濃度進行控制。例如,6級潔凈室可要求≥0.5μm的粒子濃度不大于35200pc/m3和≥5μm的粒子濃度不大于293pc/m3。
百級潔凈室潔凈度監測管理制度:
潔凈區的使用:
(1) 進入潔凈區的人員應定期進行微生物基礎知識、衛生知識、潔凈作業培訓;
(2) 人員進出潔凈區須按相應級別的潔凈區進出標準操作規程進入潔凈區;
(3) 各車間的人員進出潔凈區標準操作規程中應明確進入潔凈區的人數限度并嚴格執行;
(4) 凡潔凈區使用的物料、器具等須按規定程序清潔。進入潔凈區的物品,要在區外清潔處理,經過傳遞窗進入區內;
(5) 潔凈區內空調宜連續進行。生產結束后,空調系統應繼續運行4小時后停止。系統重新再運行之前必須進行消du;
(6) 廢棄物應有專門的容器存放,每日及時清理,由傳遞窗送出窗外。
百級潔凈室潔凈區的監測:
(1) 為確保潔凈區的凈化環境和潔凈度,需對潔凈區定期監測;
(2) 發現下列情況,高效空氣過濾器應予更換;
a. 氣流速度≤0.25m/s,即使更換初效和中效空氣過濾后,氣流速度仍不能增大;
b. 高效空氣過濾器出現無法修補的滲漏。
百級潔凈室潔凈區的維護要求:
(1) 潔凈區應設置**門、應急燈及jiu精專用柜等**措施;
(2) 潔凈區的管理要有記錄;
(3) 除了使用人員日常管理外,對潔凈區空調系統和潔凈區的空氣凈化設備一年大修一次,在生產期間如遇異常情況應及時檢修,大修后要驗證。
百級潔凈室潔凈度測試及方法測試
潔凈室的空氣潔凈度,應進行下列測試:
空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。
動態測試:潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
百級潔凈室工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數也可采用濾膜顯微鏡計數法。
潔凈室凈非單向流流型曾稱為亂流型(Turbulence Airflow),非單向流是一種不均勻氣流分布方式,其速度、方向在潔凈室內不同地點是不同的,這是潔凈室中使用為普遍的氣流組織形式。下圖所示為非單向流的氣流組織概。
因此, 非單向流潔凈室所需要的換氣次數將隨著要求的潔凈度和室內的污染物擴散情況不同而差別很大。
非單向流潔凈室的氣流組織形式依據高效過濾器及回風口的安裝方式不同而分為下列幾類:頂送、側下回;側送、側回;頂送、頂回。
這其中頂送、側下回的氣流組織形式是較為常用的形式。帶擴散孔板風口頂送、側下回的非單向流潔凈室,經高 效過濾器的潔凈空氣由擴散板送出,工作區氣流分布比較均勻,其空氣潔凈度明顯優于周圍,而周圍區域由于送風進入室內后不斷卷入室內污染空氣,潔凈度較差;在相鄰送風口之間或潔凈室四角、沿邊等送風氣流不能覆蓋的部位潔凈度會更差些。
所以在布置頂送風口時,為使潔凈室內各處潔凈度盡可能的均勻,在總送風量一 定的條件下適當多設送風口或均勻布置送風口,盡可能地讓相鄰送風口氣流在工作區高度上銜接,確保工作區要求的潔凈度。
蘇州宏瑞凈化科技有限公司作為自主研發生產30年的生產廠家,可按百級潔凈車間標準要求及國家GMP規范要求為微電子、生物醫藥、醫院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業提供全系列的檢測儀器和技術支持,如動態監測時所需的“潔凈環境在線監測系統”,靜態檢測時的“風量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數器”“浮游菌采樣器”等。